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1. 理想晶延半导体设备(上海)股份有限公司
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上海市松江区思贤路3255号正泰科沁苑3号楼4层
2. 盛美半导体设备(上海)股份有限公司
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上海市浦东新区蔡伦路1690号张江创业源南区4号楼
3. 中微半导体设备(上海)有限公司
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4. 盛美半导体设备(上海)股份有限公司
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